DR华海清获得发明专利授权：“一种晶圆后处理系统和方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示DR华海清（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理系统和方法”，专利申请号为CN201910517944.9，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本发明涉及化学机械抛光后处理技术领域，公开了一种晶圆后处理系统和方法，系统包括：晶圆提升装置，用于从清洗液中提拉浸入清洗液的晶圆；气体喷射装置，用于在晶圆从清洗液中提升的过程中，向晶圆表面附着的清洗液的弯液面区域喷射第一温度的干燥气体，以使晶圆表面的附着物按照与提升方向相反的方向从晶圆表面剥离；液面监测装置，与气体喷射装置连接，用于检测弯液面区域的位置以使气体喷射装置喷射的干燥气体对准该弯液面三相接触线区域。

今年以来DR华海清新获得专利授权20个，较去年同期减少了70.15%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.04亿元，同比增40.33%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信