光峰科技获得实用新型专利授权：“光栅干涉曝光系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示光峰科技（688007）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“光栅干涉曝光系统”，专利申请号为CN202322384649.5，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本申请公开了一种光栅干涉曝光系统，涉及全息光栅制造领域，包括发光装置、相位探测装置和至少两组相位调制组件，发光装置用于发出两束相干光束，两束相干光束经过不同路径传输后发生干涉形成干涉条纹，相位探测装置用于采集干涉条纹中对应于每种波长的光线形成的干涉条纹，并确定每种波长光线对应的相位漂移量，相位调制组件设于发光装置中且与相位探测装置连接，且每组相位调制组件对应获取一种波长的光线的相位漂移量，并基于相位漂移量调制对应光线的波长以补偿相位漂移。因此，光栅干涉曝光系统能够对每种波长的光线的相位进行单独调制，实现了多波长干涉曝光系统在曝光过程中每种波长的光线的相位恒定，提升全息光栅干涉曝光质量。

今年以来光峰科技新获得专利授权70个，较去年同期减少了30.69%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.81亿元，同比增7.18%。

数据来源：企查查

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