帝尔激光获得发明专利授权：“一种利用激光束对膜改性及实现图形化的方法及其应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示帝尔激光（300776）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种利用激光束对膜改性及实现图形化的方法及其应用”，专利申请号为CN202210535428.0，授权日为2024年6月28日。

专利摘要：本申请提供一种利用激光束对膜改性及实现图形化的方法及其应用，包括采用激光束照射硅衬底表面的膜层，对其进行图形化改性处理，使其加工区与非加工区形成腐蚀速率差。对硅衬底表面改性后的膜层进行腐蚀处理，激光加工区域因膜层改性，腐蚀速率会比非加工区域更快，非加工区作为腐蚀的阻挡层，进而形成图形化结构；或，加工区腐蚀速率变慢，加工区作腐蚀阻挡层，进而形成图形化结构。通过激光进行微加工处理，改变膜层的性状，破坏局部晶体点阵，形成更多的缺陷等，使加工区域变为易腐蚀区或难腐区，从而达到腐蚀的效果。

今年以来帝尔激光新获得专利授权38个，较去年同期增加了90%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.51亿元，同比增91.65%。

数据来源：企查查

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