杰华特获得发明专利授权：“横向变掺杂结构的制造方法及横向功率半导体器件”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示杰华特（688141）新获得一项发明专利授权，专利名为“横向变掺杂结构的制造方法及横向功率半导体器件”，专利申请号为CN202110469366.3，授权日为2024年6月25日。

专利摘要：本发明公开一种横向变掺杂结构的制造方法及横向功率半导体器件，该横向变掺杂结构的制造方法包括：在衬底上形成衬垫氧化层；对衬垫氧化层下方的衬底进行局部热氧化以生成包括鸟嘴区的场氧化层，其中，鸟嘴区的氧化层厚度横向渐变；在鸟嘴区上方向鸟嘴区下方的衬底注入掺杂离子。本发明能够使得小尺寸横向功率半导体器件具有较好的横向变掺杂效果。

今年以来杰华特新获得专利授权59个，较去年同期增加了37.21%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4.99亿元，同比增63.88%。

数据来源：企查查

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