芯源微获得实用新型专利授权：“一种可调节式集成喷嘴装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种可调节式集成喷嘴装置”，专利申请号为CN202322946017.3，授权日为2024年6月25日。

专利摘要：本实用新型属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种可调节式集成喷嘴装置，包括喷嘴主体、高度调节安装件及角度调节安装件，角度调节安装件与摆臂的驱动端连接，高度调节安装件与角度调节安装件连接，喷嘴主体与高度调节安装件连接，喷嘴主体上分别设有高压柱状喷嘴、高压狭缝状喷嘴及常压喷液管等。本实用新型通过集成安装有高压柱状喷嘴、高压狭缝状喷嘴及常压喷液管的喷嘴主体，可在高压狭缝状喷嘴、高压柱状喷嘴分别对晶圆表面喷射高压药液后，直接通过常压喷液管对晶圆喷出常压的药液冲刷晶圆表面，而仅需一个摆臂实际进行动作，减少摆臂设置数量并且无需进行摆臂的切换，有效提高加工效率，提高设备产能。

今年以来芯源微新获得专利授权19个，与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

数据来源：企查查

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