芯源微获得实用新型专利授权：“一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置”，专利申请号为CN202322946019.2，授权日为2024年6月18日。

专利摘要：本实用新型属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种基于撕金去胶工艺后的过滤装置，包括外筒体、精滤滤网安装骨架、粗滤滤网安装骨架、精滤滤网及粗滤滤网，精滤滤网安装骨架设置于外筒体内侧，精滤滤网安装骨架上安装有精滤滤网，粗滤滤网安装骨架设置于精滤滤网安装骨架内侧，粗滤滤网安装骨架上安装有粗滤滤网。本实用新型通过设置粗滤滤网与精滤滤网两层组合的过滤方式，分层拦截而避免所需拦截的金属膜或光阻膜全部堆积在同一个滤网上，既可防止大片金属膜或光阻膜在短时间内堵住滤网，也防止了较多细小金属膜屑和光阻穿过滤网给后端过滤原件造成压力；在提高过滤效率的同时，可降低设备停机维护的频次，降低过滤系统的使用成本。

今年以来芯源微新获得专利授权18个，较去年同期减少了5.26%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

数据来源：企查查

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