芯联集成获得发明专利授权：“一种MEMS惯性集成器件及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS惯性集成器件及其制备方法”，专利申请号为CN202410324705.2，授权日为2024年6月18日。

专利摘要：本发明提供一种MEMS惯性集成器件及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：在盖帽晶圆的背面依次设置有牺牲层和保护层，牺牲层包括中心部和辐射部，辐射部包括以中心部为中心辐射状分布的多条辐射道路，盖帽晶圆的正面设有抽气孔，抽气孔暴露部分中心部；刻蚀保护层形成开口，开口暴露所有辐射道路远离中心部侧的部分长度；背面层出设置所述得去除牺牲层以在开口和抽气孔之间的保护层中形成导气孔，导气孔与抽气孔连通，导气孔的辐射部孔包括以中心部孔为中心辐射状分布的多条辐射道路孔；在保护层上形成封闭层，封闭层填充开口并封堵导气孔，以对任何孔径的抽气孔实现密封，在封孔时可一次性对集成晶圆的所有抽气孔实现密封，提高封孔的效率，降低封孔的成本。

今年以来芯联集成新获得专利授权41个，较去年同期增加了41.38%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。