至纯科技获得发明专利授权：“一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备”，专利申请号为CN201910185426.1，授权日为2024年6月18日。

专利摘要：本发明公开了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，所述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连接。本发明夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减小了生产成本。

今年以来至纯科技新获得专利授权16个，较去年同期减少了15.79%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.24亿元，同比增16.35%。

数据来源：企查查

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