中微公司获得发明专利授权：“用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置”，专利申请号为CN201911349233.1，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本发明适用于半导体刻蚀领域，公开了用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置，用于真空设备的调平机构包括至少一个间隙调节件和设置于间隙调节件外周的密封波纹管，间隙调节件包括双层螺栓和套设于双层螺栓外周的真空波纹管，双层螺栓的两端分别连接第一部件和第二部件。通过设置多个间隙调节件，具体通过真空波纹管与双层螺栓的组合设计，使得能够通过调控对应的双层螺栓至少部分地调节第一部件和第二部件之间的距离，进而实现在真空设备中通过设置多个间隙调节件调节对应的双层螺栓来改变两部件之间的部分距离，另外，在间隙调节件的外周设置密封波纹管，防止真空设备中的气体泄漏，保证了气密性。

今年以来中微公司新获得专利授权73个，较去年同期增加了4.29%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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