江丰电子获得发明专利授权：“一种靶材背板及其制造方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示江丰电子（300666）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种靶材背板及其制造方法”，专利申请号为CN202210861108.4，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本发明涉及一种靶材背板及其制造方法，所述靶材背板包括支撑件与冷却件；所述支撑件为凹槽结构，凹槽结构的底面设置有通孔，通孔的直径小于凹槽结构的底面直径；所述冷却件包括冷却基体与冷却凸台；所述冷却基体与冷却凸台形成台阶状结构，通过通孔与支撑件连接；所述支撑件与冷却件的材质不同。本发明提供的靶材背板通过材料的选择、结构的改进以及制造方法的控制，使靶材背板具有极好的支撑强度，又具备良好的导热性能，且成本较同规格的铜背板更加低廉；将其用于磁控溅射时，使用寿命较长，且表面温度分布均匀，有利于提高磁控溅射的镀膜均匀性。

今年以来江丰电子新获得专利授权45个，较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.72亿元，同比增37.87%。

数据来源：企查查

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