士兰微获得发明专利授权：“MEMS麦克风”

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS麦克风”，专利申请号为CN202010839568.8，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本发明提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓主要与释放孔阵列的最外圈释放孔有关，将最外圈释放孔配置为间隔排布的第一释放孔和第二释放孔。由于第一释放孔的孔径大于第二释放孔的孔径，利用第一释放孔会将支撑墙体的内壁腐蚀为波浪形，而利用第二释放孔可以“削”掉波浪形中的尖角，从而抑制尖角的形成，平滑支撑墙体内壁的轮廓，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。

今年以来士兰微新获得专利授权32个，较去年同期减少了17.95%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.64亿元，同比增21.47%。

数据来源：企查查

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