芯碁微装获得发明专利授权：“一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置”，专利申请号为CN201810226366.9，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本发明涉及一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，包括基座、棱镜装置及传动机构，所述棱镜装置包括相互滑动配合的上棱镜与下棱镜，所述上棱镜与下棱镜之间具有间隙，所述基座上设有与所述下棱镜相匹配的第一安装槽，所述传动装置包括丝杠及电机，所述上棱镜通过连接支架与所述丝杠传动连接，所述丝杠的两端分别通过第一支座、第二支座与基座固定连接，丝杠的端部通过联轴器与电机的转轴固定连接，所述电机通过安装支架与基座固定连接，所述基座的端部设有位移传感器。本发明通过激光位移传感器实时测量反馈焦面距离，配合小楔角的楔形棱镜的运动，达到精密调焦的目的，解决直写光刻封装机型焦深较小这一技术缺陷。

今年以来芯碁微装新获得专利授权19个，较去年同期增加了58.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了9454.06万元，同比增11.56%。

数据来源：企查查

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