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江丰电子获得发明专利授权:“一种靶材组件及其制备方法”

来源:证券之星企业动态 2024-06-15 02:13:42
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证券之星消息,根据企查查数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种靶材组件及其制备方法”,专利申请号为CN202210786593.3,授权日为2024年6月14日。

专利摘要:本发明提供了一种靶材组件及其制备方法,所述靶材组件包括靶材和靶材背板;所述靶材包括具有圆弧形倒角和位于圆弧形倒角上方的凹槽;所述圆弧形倒角以下设置有喷砂区,所述圆弧形倒角以上和位于圆弧形倒角上方的凹槽设置有熔射区,熔射层完全覆盖圆弧形倒角和凹槽,圆弧形倒角被覆盖后与凹槽平齐;所述靶材改进了靶材轮廓和整体的尺寸,并调整了制备时的工艺参数,全面提升了靶材的均匀性,从而降低了靶材溅射时发生Arcing现象的概率,提升了产品良率。

今年以来江丰电子新获得专利授权45个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.72亿元,同比增37.87%。

数据来源:企查查

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