芯碁微装获得实用新型专利授权：“一种可改变分区吸盘”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种可改变分区吸盘”，专利申请号为CN202322592184.2，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种可改变分区吸盘，属于光刻机吸盘技术领域，包括平板状的吸盘本体和呈L型的密封条，所述吸盘本体的内部形成有矩形腔室，所述吸盘本体的上表面开设有与矩形腔室连通的若干吸附孔；所述密封条设置在矩形腔室的内部，并配合矩形腔室的任意一个内拐角在矩形腔室的内部分隔出独立的矩形吸附区域，所述矩形吸附区域通过真空管路与负压设备连通；其中，所述矩形吸附区域的面积可通过改变密封条的尺寸及位置进行调节。本实用新型中，只需改变密封条的尺寸和位置，就能够针对所定制PCB板的尺寸组装形成与该定制PCB板相匹配的矩形吸附区域，降低了整体的定制难度和成本，便于做到量产化。

今年以来芯碁微装新获得专利授权18个，较去年同期增加了50%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了9454.06万元，同比增11.56%。

数据来源：企查查

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