微导纳米获得发明专利授权：“一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202210900271.7，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本发明提供了一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备，射频电极馈入装置包括：固定环；若干射频连接器，所述射频连接器设于所述固定环；电极件，电极件，一个所述电极件对应连接一个所述射频连接器，所述电极件的一端与所述射频连接器电连接，所述电极件的另一端用于与载具电连接。本发明中的各个部件为标准化设计，通过在固定环上设置射频连接器，并通过电极件实现与载具的电连接，便于装置的维护，避免了射频放电时的异常，提高了放电的稳定性，并且降低了射频功率在传输路径上的损耗。

今年以来微导纳米新获得专利授权29个，较去年同期增加了480%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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