韦尔股份获得发明专利授权：“传感器集成芯片及其制造方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示韦尔股份（603501）新获得一项发明专利授权，专利名为“传感器集成芯片及其制造方法”，专利申请号为CN202111042711.1，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：公开了一种传感器集成芯片及其制造方法，传感器集成芯片包括沿水平方向并列的压力传感器和加速度传感器，制造方法包括：在第一区域形成第一凹槽，以及在第二区域形成第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽有与空气连通的释放窗口；在衬底和第一凹槽、第二凹槽的表面以及释放窗口中形成复合介质层以形成第一空腔和第二空腔；在第一区域的衬底表面开口并形成第一压敏电阻，在第二区域的衬底表面开口并形成第二压敏电阻；形成与第一压敏电阻接触的第一欧姆接触层及与第二压敏电阻接触的第二欧姆接触层；形成将第二空腔与空气连通的第一通孔。上述制造方法与集成电路工艺相兼容，可降低成本，且传感器的灵敏度更高。

今年以来韦尔股份新获得专利授权16个，较去年同期增加了77.78%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了22.34亿元，同比减10.48%。

数据来源：企查查

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