盛美上海获得发明专利授权：“一种清洗设备的清洗方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种清洗设备的清洗方法”，专利申请号为CN201911259257.8，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本发明提供了一种双头喷嘴结构、清洗设备及清洗方法，所述双头喷嘴结构包括：用于喷布药液的第一喷嘴和第二喷嘴；固定模块，其连接并固定所述第一喷嘴和所述第二喷嘴，并使所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向具有夹角。本发明通过设置第一喷嘴、第二喷嘴和固定模块，使两个喷嘴的药液喷布方向具有设定的夹角。通过不同的药液喷布方向实现对晶圆缺口两侧区域的有效清洗，提升了晶圆缺口两侧区域的产品良率。此外，通过设置药液喷布方向与晶圆运动方向的夹角为锐角，还避免了对晶圆表面药液正常流动的干扰以及药液冲洗力度过大对元器件的损伤。

今年以来盛美上海新获得专利授权3个，与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6.15亿元，同比增62.04%。

数据来源：企查查

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