证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆吸盘及其工作方法”，专利申请号为CN201810520713.9，授权日为2024年6月4日。
专利摘要：本发明提供一种晶圆吸盘及其工作方法，其中，所述晶圆吸盘包括：盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附晶圆，所述晶圆侧壁中具有凹口；连接所述盘体的第一定位件，所述第一定位件用于定位晶圆凹口的位置。所述晶圆吸盘能够确定晶圆中的半导体结构与吸附面之间的相对位置关系，从而有利于对晶圆的加工和检测。
今年以来中科飞测新获得专利授权56个，较去年同期减少了1.75%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.28亿元，同比增10.93%。
数据来源：企查查
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