中科飞测获得发明专利授权：“基板运输装置及其工作方法、基板处理系统及处理方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“基板运输装置及其工作方法、基板处理系统及处理方法”，专利申请号为CN202010716081.0，授权日为2024年6月4日。

专利摘要：本申请提供了一种基板运输装置、基板处理系统及基板运输装置的工作方法，该基板运输装置包括支撑组件和承载台，承载台具有承载面，承载面被配置为承载基板，承载台被配置为带动基板沿第一方向相对于支撑组件运动；承载台设有通孔，支撑组件包括支撑柱，支撑柱被配置为穿过通孔并带动基板沿垂直于承载面的方向移动，以带动基板与承载面贴合或者使基板远离承载面。本申请提供的基板运输装置，通过设置支撑组件，能够有效完成基板在承载台上的上下料过程，且支撑组件未与承载台固定连接，能够有效避免增加承载台的重量，保证了承载台的传输速度，从而满足高速传输的要求。

今年以来中科飞测新获得专利授权56个，较去年同期减少了1.75%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.28亿元，同比增10.93%。

数据来源：企查查

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