华海清科获得实用新型专利授权：“一种化学机械抛光系统”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种化学机械抛光系统”，专利申请号为CN202323013940.8，授权日为2024年5月28日。

专利摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光系统，其包括：前置单元，用于存放晶圆；抛光单元，用于抛光晶圆；清洗单元，平行排布于抛光单元的侧方，用于清洗已抛光晶圆；传输机构，横向设置于抛光单元与清洗单元之间，用于传输晶圆。

今年以来华海清科新获得专利授权17个，较去年同期减少了70.69%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.04亿元，同比增40.33%。

数据来源：企查查

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