芯源微获得发明专利授权：“对准方法及对准系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“对准方法及对准系统”，专利申请号为CN202110140288.2，授权日为2024年5月28日。

专利摘要：本发明提供了一种对准方法，包括：调整图像采集部，使两个基板相对，通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息，通过主控部将经过核对计算得到的校准信息发送至校准装置的导向部，所述导向部根据所述校准信息进行补偿调整。本发明的对准方法在键合前通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息后发送至主控部进行所述核对计算，保证了采集的对应位置信息的准确性，结合所述主控部将经过所述核对计算得到的校准信息发送至所述校准装置的导向部，所述导向部根据所述校准信息进行补偿调整实现了键合前的对准调整。本发明还提供了应用于实现所述对准方法的对准系统。

今年以来芯源微新获得专利授权14个，较去年同期减少了6.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

数据来源：企查查

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