晶合集成获得发明专利授权：“退火方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“退火方法”，专利申请号为CN202410231504.8，授权日为2024年5月28日。

专利摘要：本发明提供一种退火方法，包括：提供多组测试晶圆，且对多组测试晶圆执行第一时间段的退火工艺；其中，第一时间段小于退火工艺的标准退火时间；分别对各组测试晶圆继续执行不同的第二时间段的退火工艺；对各组测试晶圆分别执行晶圆接受测试；至少根据测试结果和对应的第一时间段及第二时间段构建测试数据库；至少根据测试数据库，确定退火中断的晶圆的二次退火时间，以作为晶圆的退火补偿时间；对晶圆继续执行时长为退火补偿时间的退火工艺。可见，通过构建退火测试结果与退火时间的测试数据库，可据此获取晶圆的退火补偿时间，以执行二次退火工艺，实现对退火中断的晶圆的补救，有效降低了晶圆报废率和经济损失。

今年以来晶合集成新获得专利授权140个，较去年同期增加了129.51%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了10.58亿元，同比增23.39%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。