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京仪装备获得实用新型专利授权:“半导体废气处理设备”

来源:证券之星企业动态 2024-05-29 02:15:39
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证券之星消息,根据企查查数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“半导体废气处理设备”,专利申请号为CN202322731978.2,授权日为2024年5月28日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体废气处理装置技术领域,提供一种半导体废气处理设备,包括设备本体、盖体和一个加热器,盖体盖设于所述设备本体,并与所述设备本体围设出反应腔,所述盖体连接有废气管路和辅助气体管路;一个加热器,设于所述盖体的中心,并伸入所述反应腔。本实用新型提供的半导体废气处理设备,通过在盖体中心设置一个加热器并令其深入反应腔,在盖体上连接废气管路和辅助气体管路,将废气和辅助气体导入反应腔内,由于加热器的轴线与反应腔的中心线重合,通过一个加热器工作,热量由反应腔中心向反应腔四周均匀传递,即可保证反应腔内温度均匀,对反应腔内的废气均匀加热,为废气处理提供均匀的加热环境,进而可以提高反应效率。

今年以来京仪装备新获得专利授权30个,较去年同期增加了20%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6151.18万元,同比增27.07%。

数据来源:企查查

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