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京仪装备获得实用新型专利授权:“一种半导体专用自动切换温控系统”

来源:证券之星企业动态 2024-05-29 02:15:28
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证券之星消息,根据企查查数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种半导体专用自动切换温控系统”,专利申请号为CN202322940954.8,授权日为2024年5月28日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体温控设备领域,涉及一种半导体专用自动切换温控系统。半导体专用自动切换温控系统包括工艺机台、第一温控装置、第二温控装置、切换管路组件和控制器,工艺机台、第一温控装置和第二温控装置均与切换管路组件连接,切换管路组件适于通断所述第一温控装置和工艺机台,或通断第二温控装置和工艺机台。第一温控装置、第二温控装置以及切换管路组件均与控制器连接。本实用新型提供的半导体专用自动切换温控系统,当第一温控装置和第二温控装置中的其中一个发生故障时,能够即时将另一个连通工艺机台,实现持续为工艺机台提供恒温流体,以使得工艺机台能够正常工作,减少工艺机台的宕机时间,保证工艺机台的生产效率。

今年以来京仪装备新获得专利授权30个,较去年同期增加了20%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6151.18万元,同比增27.07%。

数据来源:企查查

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