京仪装备获得实用新型专利授权：“等离子废气处理组件及半导体废气处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子废气处理组件及半导体废气处理设备”，专利申请号为CN202322316930.5，授权日为2024年5月3日。

专利摘要：本申请涉及半导体废气处理技术领域，提供一种等离子废气处理组件及半导体废气处理设备。等离子废气处理组件，包括阴极，阴极处设有钨极；阳极，与阴极相对设置，阳极和阴极之间形成有电离空间；第一氮气输送件，设于阴极一侧，第一氮气输送件设有间隔均匀的多个第一出气口，多个第一出气口均朝向电离空间，以使得第一氮气输送件可将氮气均匀的输送到电离空间处。根据本申请实施例的等离子废气处理组件，实现了将氮气均匀的输送到电离空间处，保证了氮气均匀分布，氮气可以在阴极和阳极之间充分电离，确保了等离子体电离不发生偏离，使得钨极表面的损耗划痕分布均匀，延长了钨极的使用寿命。

今年以来京仪装备新获得专利授权23个，较去年同期减少了8%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6151.18万元，同比增27.07%。

数据来源：企查查

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