京仪装备获得实用新型专利授权：“一种晶圆支撑部件及晶圆托取机械手”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆支撑部件及晶圆托取机械手”，专利申请号为CN202322478599.7，授权日为2024年5月3日。

专利摘要：本实用新型提供一种晶圆支撑部件及晶圆托取机械手，涉及半导体技术领域。晶圆支撑部件包括支撑组件，支撑组件包括支撑件和固定件。支撑件设置于固定件的上部，支撑件的顶部具有支撑面，支撑面设置有摩擦部，摩擦部用于与晶圆接触，摩擦部的水平横截面积小于支撑面的面积。固定件的外周面设置有卡接部。通过卡接部卡入基板的安装孔，以便将固定件与基板进行连接，实现支撑组件安装固定于基板，晶圆支撑部件与基板配合对晶圆进行托取转运。由于无需通过胶粘对晶圆支撑部件进行安装固定，使得晶圆支撑部件与基板之间的连接强度增强，同时使得晶圆支撑部件更换方便。

今年以来京仪装备新获得专利授权23个，较去年同期减少了8%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6151.18万元，同比增27.07%。

数据来源：企查查

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