卓胜微获得实用新型专利授权：“一种离子注入机及其离子源设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种离子注入机及其离子源设备”，专利申请号为CN202322725359.2，授权日为2024年5月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种离子注入机及其离子源设备，离子注入机的离子源设备包括离子源腔室干泵、离子源腔室、离子源区域运动件密封腔室、尾气处理单元和运动件密封泵；其中，离子源腔室干泵的进气口通过第一抽真空管与离子源腔室气体连通，离子源腔室干泵的出气口通过排气管与尾气处理单元气体连通；运动件密封泵的进气口通过第二抽真空管与离子源区域运动件密封腔室气体连通。本实用新型能够避免离子源腔室干泵因与离子源区域运动件密封腔室气体连通而导致的突然卡死问题。

今年以来卓胜微新获得专利授权16个，较去年同期增加了700%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6.29亿元，同比增39.99%。

数据来源：企查查

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