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芯联集成获得实用新型专利授权:“一种半导体器件及电子装置”

来源:证券之星企业动态 2024-05-16 02:15:58
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证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种半导体器件及电子装置”,专利申请号为CN202322805503.3,授权日为2024年5月14日。

专利摘要:本实用新型提供了一种半导体器件及电子装置,该半导体器件包括:衬底;至少两个深沟槽,自所述衬底的第一表面延伸至所述衬底中,所述深沟槽具有上大下小的开口部,所述深沟槽位于所述开口部的下方的部分中填充有栅极材料层,所述开口部中填充有介质层;至少一个接触孔,自所述衬底的第一表面延伸至所述衬底中,并位于相邻所述深沟槽之间。本申请方案中的深沟槽具有上大下小的开口部,有利于后续工艺中的栅极材料的填充,且能够通过调节开口部的开口宽度来定义接触孔的宽度,解决了接触孔对准偏移的问题,并能够减小节距尺寸。

今年以来芯联集成新获得专利授权27个,较去年同期增加了35%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。

数据来源:企查查

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