卓胜微获得实用新型专利授权：“沉积环及薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“沉积环及薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202322602796.5，授权日为2024年5月14日。

专利摘要：本实用新型提供一种沉积环及薄膜沉积设备。所述沉积环包括环状主体及两个以上柱状结构，所述环状主体具有相对的第一表面和第二表面，第一表面的粗糙度大于第二表面的粗糙度，两个以上柱状结构间隔设置于第二表面的同一圆周面上，该圆周面的直径大于待匹配的载台的直径。本实用新型提供的沉积环通过在其中一个表面上设置柱状结构，使得沉积环的粗糙面和光滑面从视觉上就能够明显被区分，且在被反装时使得保护环无法被正常组装，从而实现在作业时就杜绝沉积环装反的现象，有助于提高作业良率。

今年以来卓胜微新获得专利授权15个，较去年同期增加了650%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6.29亿元，同比增39.99%。

数据来源：企查查

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