证券之星消息,根据企查查数据显示卓胜微(300782)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“沉积环及薄膜沉积设备”,专利申请号为CN202322602796.5,授权日为2024年5月14日。
专利摘要:本实用新型提供一种沉积环及薄膜沉积设备。所述沉积环包括环状主体及两个以上柱状结构,所述环状主体具有相对的第一表面和第二表面,第一表面的粗糙度大于第二表面的粗糙度,两个以上柱状结构间隔设置于第二表面的同一圆周面上,该圆周面的直径大于待匹配的载台的直径。本实用新型提供的沉积环通过在其中一个表面上设置柱状结构,使得沉积环的粗糙面和光滑面从视觉上就能够明显被区分,且在被反装时使得保护环无法被正常组装,从而实现在作业时就杜绝沉积环装反的现象,有助于提高作业良率。
今年以来卓胜微新获得专利授权15个,较去年同期增加了650%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6.29亿元,同比增39.99%。
数据来源:企查查
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