微导纳米获得发明专利授权：“载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法”，专利申请号为CN202310456484.X，授权日为2024年5月14日。

专利摘要：本申请涉及一种载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法。该载具包括框架和遮盖件。框架具有用于放置待处理件的处理空间、以及连通所述处理空间内外的进气部、出气部及至少一个敞口部。遮盖件与所述框架可拆卸连接，并遮盖全部所述敞口部。本申请实施例中的遮盖件在装配于框架后，遮盖件可遮盖框架的敞口部，以使得框架的处理空间只具有相连通的进气部和敞口部。该处理空间可对通入的气体进行导流，并使得位于不同区域的气体量尽可能一致，从而提高了待处理件与气体反应后，待处理件表面所形成的膜层的均一性。

今年以来微导纳米新获得专利授权28个，较去年同期增加了460%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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