证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“导电导热垫片、半导体组件及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202222782765.8，授权日为2024年5月14日。
专利摘要：本实用新型公开了一种导电导热垫片、半导体组件及等离子体处理装置，导电导热垫片包含底部金属层、位于底部金属层上的粘合层、及位于粘合层上的顶部金属层。在使用状态下，底部金属层的下表面和顶部金属层的上表面分别接触两个不同的部件，金属材料与部件接触摩擦，不会产生颗粒物，降低了垫片的损耗。并且，所述导电导热垫片的导电导热性能较好。
今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了4.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。
数据来源：企查查
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