中微公司获得实用新型专利授权：“前级管道组件及半导体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“前级管道组件及半导体处理装置”，专利申请号为CN202322182495.1，授权日为2024年5月14日。

专利摘要：本实用新型公开一种前级管道组件及半导体处理装置，其涉及半导体技术领域。该前级管道组件，用于对两个腔室的处理模块进行排气，该前级管道组件包括：两个进气口，各进气口能够与各所述腔室的抽气口匹配连通；两路排气管道，两路所述排气管道的一端分别配置所述进气口，并且两路所述排气管道的走向一致以使其中的流体的流动方向一致；三通单元，包括两个流入端口和一个流出端口；两路连接管道，两路所述连接管道的一端分别与两路所述排气管道连接，另一端分别与所述三通单元的两个所述流入端口连接，并且所述三通单元的所述流出端口能够连通至排气装置。本实用新型通过使与两个腔室的各抽气口匹配安装的前级管道组件的排气管道走向一致来提升衬底处理的一致性。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了4.76%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。