捷佳伟创获得实用新型专利授权：“MAD设备的进气系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示捷佳伟创（300724）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“MAD设备的进气系统”，专利申请号为CN202322405716.7，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本实用新型公开了一种MAD设备的进气系统，包括水蒸气进气单元和源进气单元，水蒸气进气单元包括依次连接的第一氮气源、第一氮气进气管路、水瓶和水蒸气出气管路，水蒸气出气管路上设置有第一压力控制器，源进气单元包括依次连接的第二氮气源、第二氮气进气管路、源瓶和源出气管路，源出气管路上设置有第二压力控制器。本实用新型的MAD设备的进气系统，水瓶及源瓶(三甲基铝)独立控压，通过第一压力控制器和第二压力控制器设定不同的压力，从而输出不同浓度的水蒸气及三甲基铝，保证了工艺的持续稳定性及改善了均匀性。可以提升的工艺的灵活性，让水瓶及源瓶压力与炉管压力有了更多匹配方式，提升了工艺窗口。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权30个，较去年同期增加了76.47%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4.67亿元，同比增63.46%。

数据来源：企查查

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