高华科技获得发明专利授权：“MEMS电容式加速度计及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS电容式加速度计及其制备方法”，专利申请号为CN202310532137.0，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本公开实施例提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法。包括：第一衬底；第一电极层和支撑层，设置于第一衬底，并且支撑层位于第一电极层外侧；弹性件和弹性件底盘，弹性件的第一端插置于第一电极层与第一衬底抵接，第二端与弹性件底盘抵接；连接层，设置于支撑层和弹性件底盘背离第一衬底的一侧；第二衬底，设置于连接层背离第一衬底的一侧；弹性梁和质量块，设置于第二衬底，质量块与第一电极层相对应，弹性梁位于质量块外侧；第二电极层和绝缘层，绝缘层设置于质量块朝向第一衬底的一侧，第二电极层夹设于绝缘层和连接层之间。能有效防止在加速度过大时弹性梁发生断裂，实现过载保护。有效避免了静电吸合的发生，提高了加速度计的可靠性。

今年以来高华科技新获得专利授权12个。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4973.89万元，同比增38.03%。

数据来源：企查查

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