证券之星消息,根据企查查数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“基片载具”,专利申请号为CN202322309357.5,授权日为2024年5月10日。
专利摘要:本实用新型公开了一种基片载具,包括载具框架和多个托盘,载具框架包括两个竖梁和多个横梁,两个竖梁并列且间隔设置,多个横梁间隔设置在两个竖梁之间,横梁上方设置有两个第一斜面,横梁下方设置有两个第二斜面,两个第一斜面在竖直方向上沿远离横梁底部方向相互靠近,两个第二斜面在竖直方向上沿远离横梁顶部方向相互靠近,多个托盘安装在载具框架上,托盘上设置有多个用于放置基片的槽部。本实用新型的基片载具,载具框架在前进过程中横梁对于旋转靶材的溅射的遮挡部分较少,可以在相同的高度上可以做到更小的镀膜面积影响,可以实现既达到了一定的截面强度又使得镀膜面积影响更小。
今年以来捷佳伟创新获得专利授权30个,较去年同期增加了76.47%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了4.67亿元,同比增63.46%。
数据来源:企查查
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