卓胜微获得实用新型专利授权：“反应源供应系统及化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“反应源供应系统及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202322483602.4，授权日为2024年5月7日。

专利摘要：本实用新型提供一种反应源供应系统及化学气相沉积设备。反应源供应系统包括：用于承载反应源物质的源瓶、用于输送反应源气体的传输管路、用于对源瓶进行加热的第一加热器、用于对传输管路进行加热的第二加热器，以及用于对第一加热器和第二加热器的加热功率进行调节的温控单元；所述传输管路的一端与源瓶相连通，且传输管路沿远离源瓶的方向上包括依次连通的第一段管路、第二段管路及第三段管路，各段管路分别通过不同的第二加热器进行加热，至少第一段管路和第二段管路的第二加热器与不同的温控单元对应连接。本申请可以保证传输管路温度均匀，避免产生局部低温而导致反应源物质凝结，避免传输管路发生堵塞，有助于提高薄膜沉积均匀性。

今年以来卓胜微新获得专利授权13个，较去年同期增加了550%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6.29亿元，同比增39.99%。

数据来源：企查查

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