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中科飞测获得实用新型专利授权:“一种承载装置及量测设备”

来源:证券之星企业动态 2024-05-08 02:02:37
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证券之星消息,根据企查查数据显示中科飞测(688361)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种承载装置及量测设备”,专利申请号为CN202322636866.9,授权日为2024年5月7日。

专利摘要:本实用新型涉及承载装置及量测设备。一种承载装置,包括:第一框架,第一框架的顶部设有第一承载区域,第一承载区域用于支撑被承载物的边缘部位;第二框架,第二框架设置在第一框架围成的中空部分内,第二框架的顶部设有用于支撑被承载物的第二承载区域;以及连接体,连接体连接于第一框架与第二框架之间,用于使第一框架与第二框架保持相对固定;第一框架、第二框架和连接体的至少一个上设有避让通道,避让通道沿承载装置的承载支撑方向贯通,承载支撑方向为承载装置对被承载物形成支撑的方向。本实用新型主要解决晶圆进行中空测量时容易出现变形而影响量测结果的问题。

今年以来中科飞测新获得专利授权42个,较去年同期减少了22.22%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了2.28亿元,同比增10.93%。

数据来源:企查查

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