微导纳米获得实用新型专利授权：“一种腔体进气装置及气体处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种腔体进气装置及气体处理设备”，专利申请号为CN202322479678.X，授权日为2024年5月7日。

专利摘要：本实用新型提供一种腔体进气装置及气体处理设备，属于镀膜设备技术领域，腔体进气装置包括匀流组件和喷淋板。匀流组件内部开设有匀流管路，匀流管路在匀流组件内对称设置；喷淋板与匀流组件相接，喷淋板内开设有喷淋管路，喷淋管路在喷淋板内对称设置，喷淋板上开设有喷淋孔，喷淋孔与喷淋管路连通设置。本实用新型提供的一种腔体进气装置，通过将匀流管路和喷淋管路分别在匀流组件和喷淋板内对称设置，使工艺气体由气体进口进入匀流组件后通过匀流管路进入喷淋板中的喷淋管路，保证由喷淋孔喷出的工艺气体相对于喷淋板左右相等，从而使工艺气体分布均匀性更好，提高了镀膜的均匀性，提高硅片的质量。

今年以来微导纳米新获得专利授权26个，较去年同期增加了550%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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