日联科技获得发明专利授权：“一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示日联科技（688531）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法”，专利申请号为CN202110900947.8，授权日为2024年5月3日。

专利摘要：本发明提供一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法，包括以下步骤：对基体进行预处理，使表面洁净；在洁净的基体上生长一层重金属层；在重金属层上甩涂一层光刻胶，并烘烤固形；设计分辨率测试卡图案，并转换成激光直写设备可识别的代码；将基体放置于曝光平台，使除所需图案以外区域的光刻胶曝光；将曝光后的基体置于显影液中浸泡，待分辨率测试卡图像显现后，清洗并烘干；去除掉没有光刻胶保护区域的薄膜，结束后将基体清洗洁净；在刻蚀后的基体表面生长一层保护层，制备完成分辨率测试卡芯片；将分辨率测试卡芯片固定在中心开孔的铝板上，并在其表面做一层保护膜；大大提高了微焦点射线源空间分辨率的检测精度。

今年以来日联科技新获得专利授权13个，较去年同期减少了7.14%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了6623.1万元，同比增48.32%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。