证券之星消息,根据企查查数据显示京仪装备(688652)新获得一项发明专利授权,专利名为“反应装置及半导体废气处理系统”,专利申请号为CN202210771346.6,授权日为2024年5月3日。
专利摘要:本发明涉及半导体废气处理技术领域,尤其涉及一种反应装置及半导体废气处理系统,反应装置包括反应器和换热器,反应器设有制程气体进口以及与制程气体进口连通的第一腔体,换热器包括壳体以及设置于壳体内部的换热部,壳体为环状,壳体的内周面外壁围设出与第一腔体连通的第二腔体,壳体还设有与换热部连通的换热介质的第一进口与第一出口,第一出口与制程气体进口连通。利用制程气体反应产生的热量,流经换热器进行热能潜热回收后,用于对未进入反应装置的制程气体进行预热的能源,达到了节能的目的。即利用反应装置中高温且持续性的热量,进行回收再利用,代替设备中的其它独立加热部件,进而达到节省电能消耗的目的。
今年以来京仪装备新获得专利授权23个,较去年同期增加了64.29%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6151.18万元,同比增27.07%。
数据来源:企查查
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