证券之星消息,根据企查查数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“溢流水洗装置及半导体废气处理设备”,专利申请号为CN202322314801.2,授权日为2024年5月3日。
专利摘要:本申请涉及半导体废气处理技术领域,提供一种溢流水洗装置及半导体废气处理设备。溢流水洗装置,包括溢流水洗壳体,溢流水洗壳体设有水洗处理腔和溢流腔,水洗处理腔和溢流腔之间设有隔板,溢流水洗壳体的一端设有与水洗处理腔连通的进气口,其中,溢流水洗壳体设有至少两个与溢流腔连通的进水口,隔板靠近进气口的一端设有连通水洗处理腔和溢流腔的注水口,溢流腔的横截面积沿着进水口到注水口的方向逐渐减小。根据本申请实施例的溢流水洗装置,使得水流可以更快的充满溢流腔,可以在水洗处理腔的内壁面形成水幕,避免水洗处理腔的内壁面直接与副产物接触,可以避免水洗处理腔的内壁面被腐蚀,且保证了对副产物的降温效果。
今年以来京仪装备新获得专利授权22个,较去年同期增加了57.14%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6151.18万元,同比增27.07%。
数据来源:企查查
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