高华科技获得发明专利授权：“MEMS加速度计及其制备方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS加速度计及其制备方法”，专利申请号为CN202310310799.3，授权日为2024年4月30日。

专利摘要：本公开实施例提供一种MEMS加速度计及其制备方法。MEMS加速计包括：衬底；支撑柱，设置于衬底；第一连接梁，设置于支撑柱背离衬底的一侧；第二连接梁，设置于衬底并与第一连接梁相对间隔设置；感应元件和质量块，均设置于第二连接梁；双材料弹性支撑组件，位于第一连接梁和第二连接梁之间，两端分别与第一连接梁和第二连接梁连接，双材料弹性支撑组件由两个不同膨胀系数的材料制作形成。本公开的MEMS加速度计，能有效降低加速度计在承受较大加速度时第二连接梁发生断裂的可能性，具有一定的抗过载能力；另外，还可以避免质量块在未受到加速度时发生位移，从而抑制加速度计的零漂现象；最后，还可以实现对加速度计的温漂补偿。

今年以来高华科技新获得专利授权11个。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4973.89万元，同比增38.03%。

数据来源：企查查

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