芯源微获得发明专利授权：“一种基板夹持承载台”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基板夹持承载台”，专利申请号为CN201910890934.X，授权日为2024年4月26日。

专利摘要：本发明涉及一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向设有N个pin，相邻两个pin之间最长的弧长小于或等于所承载基板的二分之一周长；pin中具有平移pin，承载台上安装有移动槽，移动槽内分别设有电机C及动力源，动力源通过传动机构与电机C连接、驱动电机C沿承载台的径向往复移动，电机C的输出端与平移pin相连；电机A上安装有导电滑环，电机C及动力源所需供电及信号线路通过导电滑环与外部连接。本发明可在基板工艺过程中移动平移pin，完成对基板的夹持或分开，并旋转转动pin及平移pin，使基板与转动pin及平移pin之间相对转动、产生位移，避免基板与转动pin及平移pin接触处有药液残留，对基板造成污染，并可以完成对基板背部无死角的工艺处理。

今年以来芯源微新获得专利授权12个，与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

数据来源：企查查

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