证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“真空镀膜设备”,专利申请号为CN202322593060.6,授权日为2024年4月26日。
专利摘要:本申请公开了真空镀膜设备。真空镀膜设备包括工艺腔体、第一进气管路、第二进气管路和排气管路;第一进气管路与工艺腔体连通;第二进气管路与工艺腔体连通;排气管路与工艺腔体连通;其中,第一进气管路包括第一气流管路和第一加热管路,第一气流管路与第一加热管路串联,第一加热管路通过第一气流管路与工艺腔体连通,第一加热管路设置有第一流体加热器。通过上述方式,本申请可提高真空镀膜质量,并能够提高生产效率。
今年以来微导纳米新获得专利授权25个,较去年同期增加了733.33%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元,同比增3.34%。
数据来源:企查查
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