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德龙激光获得实用新型专利授权:“基于双空间光调制器的激光切割装置”

来源:证券之星企业动态 2024-04-26 02:39:35
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证券之星消息,根据企查查数据显示德龙激光(688170)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“基于双空间光调制器的激光切割装置”,专利申请号为CN202322415634.0,授权日为2024年4月26日。

专利摘要:本实用新型涉及基于双空间光调制器的激光切割装置,激光器的输出光路上依次设有扩束镜、功率衰减模组以及用于加载多焦点相位图的空间光调制器一和用于加载像差校正相位图的空间光调制器二,空间光调制器一与空间光调制器二之间的光路上依次设有第一凸透镜、第一反射镜以及第二凸透镜,空间光调制器二的输出光路上依次设有第三凸透镜、第二反射镜、第四凸透镜以及第三反射镜,第三反射镜的反射光路上设有加工物镜。激光光束通过空间光调制器进行相位调制,聚焦于硅晶圆内生成多个焦点,进行像差校正,控制空间光调制器所加载的相位图,生成多个轴向焦点;空间光调制器的光斑整形技术,对隐切过程中折射率失配造成的球差现象进行矫正。

今年以来德龙激光新获得专利授权13个,较去年同期增加了18.18%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.04亿元,同比增21.65%。

数据来源:企查查

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