中微公司获得实用新型专利授权：“沉积处理设备及其反应腔和气体分配装置”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“沉积处理设备及其反应腔和气体分配装置”，专利申请号为CN202322182255.1，授权日为2024年4月5日。

专利摘要：一种沉积处理设备及其反应腔和气体分配装置，气体分配装置位于沉积处理设备的反应腔内，气体分配装置包含至少一条螺旋形通道和连接在螺旋形通道外侧的支撑环，螺旋形通道的出气端包含多个第一开口，支撑环中包含多个排气部件，排气部件包含多个第二开口，第一开口和第二开口相互连通形成排气口。本实用新型通过在气体分配装置的螺旋形通道的出气端增设排气口数量并在气体分配装置的支撑环内增设排气部件作为排气空间，有助于提高排气效率，避免气体残留在螺旋形通道内，避免产生颗粒物，提升了工艺效率，保证了沉积薄膜的质量。

今年以来中微公司新获得专利授权55个，与去年同期持平。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信