芯碁微装获得发明专利授权：“光学直写成像装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“光学直写成像装置”，专利申请号为CN202111203672.9，授权日为2024年4月19日。

专利摘要：本发明公开了一种光学直写成像装置，包括：第一数字光空间调制器件和第二数字光空间调制器件；第一光源发出具有第一波长的直写光束并投射至第一数字光空间调制器件，被第一数字光空间调制器件通过成像系统反射到涂有光敏材料的成像面；第二光源发出具有第二波长的抑制光束并投射至第二数字光空间调制器件，被第二数字光空间调制器件通过成像系统反射到涂有光敏材料的成像表面；控制模块控制第一数字光空间调制器件和第二数字光空间调制器件动作，以反射携带目标图像信息的光线以及反射携带抑制图像信息的光线；成像系统将上述光线在感光面处汇聚成像，且抑制图像为目标图像的轮廓图像。本发明实施例的装置，能够达到超衍射极限的解析能力。

今年以来芯碁微装新获得专利授权13个，较去年同期增加了18.18%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3885.2万元，同比减7.98%。

数据来源：企查查

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