证券之星消息,根据企查查数据显示华微电子(600360)新获得一项发明专利授权,专利名为“终端结构的制造方法、终端结构及半导体器件”,专利申请号为CN201911186063.X,授权日为2024年4月16日。
专利摘要:本发明提供了一种终端结构的制造方法、终端结构及半导体器件,涉及半导体器件技术领域,终端结构的制造方法包括形成注有杂质的VLD区;按照预设间距,在注有杂质的VLD区表面形成多个P+环;通过氧化层对所述P+环的表面进行绝缘;在氧化层表面淀积金属层或多晶层,并通过刻蚀工艺在氧化层上形成多个场板环,形成终端结构。本发明有效的改善现有技术中杂质浓度较低,终端结构稳定性较差的情况。
今年以来华微电子新获得专利授权11个,与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5343.85万元,同比增1.35%。
数据来源:企查查
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