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南 玻A获得实用新型专利授权:“一种磁钢及磁控溅射设备”

来源:证券之星企业动态 2024-04-17 02:32:36
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证券之星消息,根据企查查数据显示南 玻A(000012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种磁钢及磁控溅射设备”,专利申请号为CN202322450954.X,授权日为2024年4月16日。

专利摘要:本实用新型公开了一种磁钢及磁控溅射设备。本实用新型的磁钢包括主体和磁铁组。主体具有设定的长度和宽度,主体设置有容置槽,容置槽沿长度方向延伸,主体由金属制成;磁铁组包括多个磁铁,多个磁铁容置于容置槽内并沿长度方向依次设置;其中,由主体沿长度方向的两端向中间的方向,主体的屏蔽效能降低。磁铁组容置于容置槽中,并且主体的屏蔽效能由主体长度方向的两端向中间的方向降低,使磁钢两端与中间部分的磁场强度得到均衡,即端部的磁钢端部的磁场强度降低,而中间部分的磁场强度提升,从而在磁钢应用于磁控溅射设备时使靶材中间部分和端部的消耗速率也得到均衡,从而提升靶材的利用率。

今年以来南 玻A新获得专利授权78个,较去年同期增加了13.04%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3.46亿元,同比增30.23%。

数据来源:企查查

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