证券之星消息,根据企查查数据显示中船特气(688146)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置”,专利申请号为CN202322416113.7,授权日为2024年4月16日。
专利摘要:本实用新型涉及一种用于高纯二氯氢硅中痕量杂质检测的分析装置,本装置包括气动阀、进样系统、色谱柱、放空针阀、载气系统和检测器,气动阀包括两个十通气动阀、一个六通气动阀和两个四通气动阀,进样系统包括样品进口、样品出口和三个定量环,色谱柱包括五个色谱柱,放空针阀包括四个放空针阀,载气系统包括六个载气支管,检测器包括第一氦离子化检测器和第二氦离子化检测器。本实用新型利用中心切割放空技术实现一次进样,完成对高纯二氯氢硅中痕量杂质(H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiHCl3和SiCl4)的全组分分析。
今年以来中船特气新获得专利授权7个,较去年同期减少了63.16%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6271.34万元,同比增22.71%。
数据来源:企查查
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